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尼康NEXIV VMR-1515系列測量儀系列為小尺寸的高速、高精度測量而設計,擁有150 x 150 x 150mm量程的全自動非接觸式三維坐標測量系統。全自動小行程,擅于測取接觸式量儀所無法測量的各種微小尺寸以及柔軟材料的外形尺寸等。8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。
CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺,以及大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺??蓽y定半導體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時,可用夾具保持其直立固定狀態。